日本YUTAKA中低压流量型压力控制器L26系列 L26SS/L26SH/L26SH-CL2 L26系列是一款设计用于低压和中压半导体工艺制造气体的产品。基本结构是外部金属密封和焊接接头，使其成为与L25产品相比基本性能有所提高的过渡产品。该产品具有优异的外泄漏和颗粒性能，使其成为设备供应中使用的阀箱和连接装置的理想选择。

日本YUTAKA绝压型真空调节控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-CO L96系列是专为半导体工艺制造气体设计的具有真空可调结构的产品。非常适合低蒸气压气体。基本结构为外部金属密封和焊接接头规范，使其成为具有优异的外泄漏和颗粒性能的产品。

日本YUTAKA绝压型压力控制器设备L88系列 L88SS L88系列是针对半导体制造气体B2H6而设计的二级减压结构的产品。作为抑制B2H6减压生成产物的措施，中间压力为3MPa，调节阀结构为平密封型，采用PCTF调节阀座，抑制了缺陷。它也非常适合绝热膨胀变化较大的 NF3。

日本YUTAKA压力控制器焊接金属垫片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 L81系列是一款专为半导体工艺制造气体设计的产品，具有两级减压结构。基本结构为外部金属密封和焊接接头规范，使其成为具有优异的外泄漏和颗粒性能的产品。两级减压结构不易受气源压力波动的影响，提供稳定的压力和流量，非常适合液化气绝热膨胀导致温降较大的气体。

日本YUTAKA高压大流量气压计控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I L62系列是专为高压、大流量半导体工艺生产气体设计的产品，其基本结构为外部金属密封和焊接接头，具有优异的外泄漏和颗粒性能。该产品增加了流量，是气瓶柜的理想选择。 我们的L61系列的针结构类型（面对面尺寸相同）。 可根据使用气体选择阀座材料。

日本YUTAKA压力控制设备高压大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO L61系列是针对高压、大流量半导体工艺生产气体而设计的产品。调节阀的平密封结构保证了小行程下的大流量。

日本YUTAKA高压流量计压力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO L21系列是专为使用高压半导体工艺制造气体而设计的产品。基本结构为外部金属密封和焊接接头，基本性能较L20系列有所提高。该产品具有优异的外漏和颗粒性能，是气缸柜的理想选择。

日本YUTAKA半导体用压力控制设备L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO L20系列是专为高压半导体工艺制造气体而设计的产品。基本结构是外部金属密封和焊接接头，使其成为具有优异的外部泄漏和颗粒性能的产品。此外，我们还提供多种选择来容纳各种高纯度气体，使其成为气瓶柜的理想选择。