日本musashino高真空2轴旋转导入机电机驱动

日本musashino高真空2轴旋转导入机电机驱动 ICF114 特点介绍

采用铝合金制成，重量轻。

铝制法兰型根据 ICF 标准进行镜面抛光和离子镀处理。

内轴和外轴可独立旋转。

规格与超高真空兼容。

可由电机驱动。

配有夹紧机构。

■ Aluminum alloy composition, lightweight design.

■ Ion plating process is applied to mirror finished aluminum flangeaccording to the ICF standard

■ Inner and outer shafts can rotate independently.

采用铝合金制成，重量轻。

铝制法兰型根据 ICF 标准进行镜面抛光和离子镀处理。

内轴和外轴可独立旋转。

规格与超高真空兼容。

可由电机驱动。

配有夹紧机构。

日本musashino高真空2轴旋转导入机电机驱动 ICF114 规格参数

真空连接法兰密封方式真空密封型泄漏量Le Akage速率允许加热温度最大温度ICF114波纹管方式波纹管type1.3 10-11Pa·m3/sec或更少（1x 10-10Torr·R/sec or less）内轴外轴内轴外轴120°C或更小（AR法兰）250°C或更小（SUS法兰）φ5mmφ20mm2.1。