美国TESCOM半导体制造用减压阀超高纯度气体

美国TESCOM半导体制造用减压阀超高纯度气体 74-3000/74-3800系列 特点介绍

TESCOM 74-3000 系列超高纯度减压稳压器提供 5 Ra 或 10 Ra 的表面光洁度，高流量 Cv = 0.5，以及无内螺纹和低内体积设计。

进口压力为 600、1000 或 3500 psi/41.3、69 或 241 巴，出口压力最高为 150 psi/10.3 巴。

应用领域

· 高流量吹扫系统

· 1/2"使用点

· 特殊气体的调节

· 半导体制造特点和优势

· 紧凑、手装和减压

· 内部体积小

· 顺畅、流动路径用于吹扫

· 内部无螺纹

· 绝对压力范围型号可供选择

· 金属-金属隔膜对主体密封件的优异气密性

美国TESCOM半导体制造用减压阀超高纯度气体 74-3000/74-3800系列 规格参数

操作参数ANSI/ASME B31.3标准规定的压力额定值最大进口压力300、600、1000或3500 psi/20.7、41.4、69.0或241巴出口压力范围100 mm Hg绝对压力-15 psi、3-30、3-60、4-100和4-150 psi100 mm Hp绝对压力-1.0巴、0.21-2.1、0.21 -4.1、0. 28-6.9和0.28-10.3巴设计耐压额定压力的150%设计耐压爆破压力额定压力的400%经认证的最大内压< 1 x 10-9 atm cc/sec He根据ASTM E449操作温度:Vespel®座:-40°F至300°F/ -40°C至149°C PCTFE座: -40°F至140°F/ - 40°C至60°C Teflon® PFA座: -40 °F至160°F / -40°C 至71°C流体容量Cv=0.5衰减进口特性1.3 psi/0.09巴或100 psi/6.9巴