TESCOM美国绝对减压阀亚真空压力调节器

TESCOM美国绝对减压阀亚真空压力调节器 64-5000系列 特点介绍

TESCOM 64-5000 系列超高纯度、绝对/亚真空压力减压调节器可提供 10 Ra 的表面光洁度。

进口压力为 120、600 或 3500 psi/8.3、41.4 或 241 巴，出口压力范围为 50 mm Hg 绝对值 -15 至 100 psi/50 mm Hg，绝对值 -1.0 至 6.9 巴。

应用领域

· 真空压力控制

· 有毒气体分析

· 阀门歧管箱

· 气体柜

· 半导体制造特点和优势

· 负偏压控制真空和低压

· 10 Ra微英寸/0.25微米内表面光洁度

· 金属对金属隔膜密封，密封性好

TESCOM美国绝对减压阀亚真空压力调节器 64-5000系列 规格参数

最大进口压力120、600或3500磅/平方英寸8.3、41.4或241巴出口压力范围50 mm Hg

绝对值-15磅/平方英寸1.0巴50 mm Hg 绝对值-30磅/平方英寸2.1巴50 mm H g

绝对值-60磅/平方英寸4.1巴50mm Hg绝对值- 100磅/平方英尺6.9

巴设计证明压力最大额定值的150%舷内泄漏率<1 x 10-9 atm cc/sec He

操作温度PTFE座：-40°F至140°F/ -40°C至60°C

特氟隆®座：-40至160°F/ - 40°C至71°C流体容量Cv=0.24（120磅/平方英寸/8.3巴型号）

Cv=0.15（600磅/平方英里/41.4巴型号）Cv = 0.06（3500磅／平方英寸／241巴型号）