美国TESCOM超高纯度、高灵敏度减压阀艾默生

美国TESCOM超高纯度、高灵敏度减压阀艾默生 64-3600系列 特点介绍

TESCOM 64-3600 系列超高纯度、高灵敏度减压阀采用低落差、紧固膜片设计，表面光洁度为 10 Ra/0.25 微米，可选哈氏合金®}精加工。

进口压力为 600 或 3500 psi/41.4 或 241 巴，出口压力高达 150 psi/10.3 巴。

应用领域

· 1/4"使用点

· 气体柜

· 半导体制造

· 阀门歧管盒特点和优势

· 10 Ra微英寸/0.25微米内表面处理

· 金属对金属密封（用于高泄漏密性的隔膜到机身密封）

· 内部电抛光可用

· 设计用于减少半导体气体系统中的压力波动

· 满足半导体使用点和气瓶应用的严格要求

美国TESCOM超高纯度、高灵敏度减压阀艾默生 64-3600系列 规格参数

运行参数ANSI/ASME B31.3标准规定的压力额定值最大进口压力600或3500 psi/41.4或241 bar出口压力范围30、60、100、150 psi/2.1、4.1、6.9、10.3 bar设计验证压力最大额定值的150%舷内泄漏率1 x 10-9 atm cc/sec He工作温度PTFE座：-40°F到140°F/ -40°C到60°C特氟隆®座：-40到160°F/ - 40°C到71°CVespel®座：-40至350°F/ -20至177°C流体容量Cv=0.15或0.06衰减进口特性Cv=0. 15: 0.4每100 psi/ 0.03每6.9 barCv=0.06: 0.2每100 p si/ 0.01每6.9 bar