美国艾默生TESCOM超高纯度压力减压阀调节器

美国艾默生TESCOM超高纯度压力减压阀调节器 64-3200/64-3400系列 特点介绍

TESCOM 64-3200 系列超高纯度、高流量膜片式减压调节器提供 10 Ra 微英寸 / 0.25 微米的表面光洁度，并采用哈氏合金® 倒角}倒角。

最大流量可达 31.8 SCFM/900 SLPM，进口压力为 150、1000、1500 psig/10.3、69.0、103 bar

TESCOM 64-3400 系列双级、超高纯度压力减压调节器采用紧固膜片设计，表面光洁度为 10 Ra 微英寸 / 0.25 微米，可选配哈氏合金®}精加工。

进口压力为 3500 psi/241 巴，出口压力最高为 150 p si/10.3 bar

美国艾默生TESCOM超高纯度压力减压阀调节器 64-3200/64-3400系列 规格参数

应用领域

·大宗特种气体系统（BS GS）

·1/2"使用点·工具连接

·气柜特点和优势

·专为高流量大宗特种气体而设计

·哈氏合金®可选修剪·正闭合密封，绑带膜片设计·金属对金属膜片密封以保证高气密性

应用领域

· 气体室

· 半导体制造

· 研究实验室特点和优势

· 10 Ra微英寸/0.25微米内表面

· 可提供全内 Electropolish· 金属到金属的机身到隔膜密封，以实现高泄漏完整性· 选择自由活塞或绑扎隔膜