美国TESCOM高纯度高流量在线调节器调压阀

美国TESCOM高纯度高流量在线调节器调压阀 23系列 特点介绍

TESCOM 23 系列超高纯度在线调节器提供 10 Ra 微英寸精加工，具有高达 950 SLPM 的流量能力。

23 系列提供无弹簧和无螺纹的内部设计，入口压力为 250 psi/17.2 bar，出口压力高达 100 psi/6.9 bar。

应用

· 高流量直通式流量调节器，适用于冲洗

· 特点和优势· 顺畅无阻的流动路径，适用于冲洗

· 无弹簧和螺纹结构，可最大限度减少颗粒产生

· 带有可定位阀帽的阳密封

· 金属对金属隔膜与主体密封，可形成的气密性

· 符合SEMI F19、UHP等级标准

美国TESCOM高纯度高流量在线调节器调压阀 23系列 规格参数

最大进口压力150或250磅/平方英寸10.3或17.2巴出口压力范围0-30,0-60,0-100磅/平方英寸0-2.1,0-4.1,0-6.9巴设计验证压力最大额定值的150%认证最大内置泄漏率<1 x 10-9 atm cc/sec He操作温度特氟隆®座:-40°F到160°F/ -40°C到71°C PCTFE座:-40°到140°F/ - 40°C到60°C流体容量Cv=1.8介质接触材料阀体316L VAR不锈钢电抛光阀座特氟隆®或PCTFE膜片316L不锈钢阀杆316L不锈钢密封件316不锈钢剩余零件316不锈钢