美国TESCOM超高流量高纯度气体减压调节器 15系列TESCOM 15 系列专为超高流量应用而设计,流量高达 28,300 SLPM。15 系列是超高纯度、10 Ra 的散装气体减压调节器。进口压力为 300 psi/20.7 bar,出口压力高达 150 psi/10.3 bar。可提供电子控制选项。
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美国TESCOM超高流量高纯度气体减压调节器 15系列 特点介绍
TESCOM 15 系列专为超高流量应用而设计,流量高达 28,300 SLPM。15 系列是超高纯度、10 Ra 的散装气体减压调节器。
进口压力为 300 psi/20.7 bar,出口压力高达 150 psi/10.3 bar。可提供电子控制选项。
最大进口压力300磅/平方英寸/20.7巴出口压力范围130和150磅/平方英寸9.0和10.3巴设计证明压力150%
最大额定值认证最大内置泄漏率膜片:1 x 10-9 atm cc/sec He Seat:1 x 1 0-6 atm cc/sec H e Operating Temperature-20°F to 150°F / -29°C to 65°C
流量能力膜片:Cv = 8.0波纹管:Cv = 14.0
美国TESCOM超高流量高纯度气体减压调节器 15系列 规格参数
· 膜片感测元件可保持非常精确的下游压力· 10 Ra微英寸内表面光洁度,采用全内电解抛光
· 316L不锈钢棒料结构
· 提供两种加载选择:弹簧/扳手调节和气动
· 提供两种感测选择:膜片和波纹管(波纹管感测元件的流量感测能力超过1200 SCFM/33,960 SLPM)
· 与ER3000电子控制器兼容