美国艾默生TESCOM半导体用压力调节器减压阀

美国艾默生TESCOM半导体用压力调节器减压阀 12系列 特点介绍

采用技术的0EM气体系统

用于的产品

·通过超高灵敏度的压力调整来提高MFC性能

強化

在广泛的应用中

性能

2sccm至120SLPM的流量

DROOP和可重复性

隔膜/主体为金属硅

表面全部为10Ra或5Ra加工

美国艾默生TESCOM半导体用压力调节器减压阀 12系列 规格参数

以ANSI/ASME B31.3为基准

入口庄力..............1.03MPa（10 kg/cm2）

出口压力范围:

20 in Hg-0.1MPa,0.01-0.21，0.02-0.41&0.02-0.69MPa

(20 in Hg-1 kg/cm2,.1-2,.2-4..2-7 kg/cm2)

设计耐压................最大压力的150%

设计耐破裂压力......最大压力的400%

认证的最大内部限制:

<1 X 10-9 atmcc/secHe

操作温度....................-40%C~摄氏60度

(-40°F~140*F)

流量......................2sccm-120SLPM

流体接触部材质

机身.................无线316LVAR

隔膜................八固体

PCTFE

阀门杆.................斯泰勒斯316L

其他零件.................316

其他材质也可以变更，请咨询。

接続

集成模型..1.125"或1.50"英尺"林特

焊接头.....1/4"VCR或1/4"片状短管

重量

录像机，IGS................0.27kg

A型................0.49kg

内部容量......................1.53cc