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日本nasgiken微量金属污染物自动回收装置

日本nasgiken微量金属污染物自动回收装置 NAC-302

●硅片的处理过程是自动化的,从气相分解到污染物回收再到收集样品的稀释。
●疏水性和亲水性晶圆均可收集(斜面收集只能收集疏水性晶圆)。
●当需要同时对大量晶圆进行采样和分析时,这是一种极其强大的设备。
●具有对回收的药液进行计量和稀释的功能,防止晶圆上残留的药液继续作业。

  • 产品型号:NAC-302
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-10-12
  • 访  问  量:163
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详细介绍

日本nasgiken微量金属污染物自动回收装置 NAC-302 特点介绍


●硅片的处理过程是自动化的,从气相分解到污染物回收再到收集样品的稀释。

●疏水性和亲水性晶圆均可收集(斜面收集只能收集疏水性晶圆)。

●当需要同时对大量晶圆进行采样和分析时,这是一种极其强大的设备。

●具有对回收的药液进行计量和稀释的功能,防止晶圆上残留的药液继续作业。

●双门结构,防止工作空间内的酸性气氛和工人的污染。

●配备自动清洁取样用支架的功能,减少操作员的工作量(*前支架和侧支架兼容)。

我们还拥有全自动执行“批量蚀刻→晶圆污染恢复"的设备(NAC-304)。

此外,近年来,为了减少污染,对能够执行“整体蚀刻→晶片污染回收→ICP-MS连接和自动元素分析"整个过程的设备的需求非常高(NAC-316)。


日本nasgiken微量金属污染物自动回收装置 NAC-302 规格参数


设备名称 NAC-302 NAC-304 NAC-316 

兼容晶圆尺寸 125毫米、150毫米、

200毫米、300毫米 125毫米、150毫米、

200毫米、300毫米 300毫米 

内置电脑 

外形尺寸(宽×深×高)(毫米)(*1)1850×1350×20002000×1500×20001700×2800×2300

使用设备酸排放、一般废气、酸废气

使用地点无尘室内部


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