日本vaclab反向磁控管式NEG支撑泵真空计

日本vaclab反向磁控管式NEG支撑泵真空计 IMP&G 机头：ICF070  特点介绍

1.与NEG泵组合使用逆磁控管型离子泵（单电池）

2.用于排出残留的氮气和甲烷的泵

3.10-10也可以用到Pa为止冷阴极真空计

4.仅密封NEG即可达到的真空为10-8Pa，通过追加本机可达到10-10Pa台可到达

5.即使在真空区域也能可靠地启动放电（带启动按钮）

6.NEG泵激活时可动作

7.SUS制、BeCu合金制

日本vaclab反向磁控管式NEG支撑泵真空计 IMP&G 机头：ICF070  规格参数

形式:IM P&G电极:圆筒阴极（Ta），螺旋阳极（W）排气速度:1L/s（Ar），4L/s（CH4）适用NEG泵:50～2000L（H2）/s真空测量范围:10-10Pa～10-3Pa泵壳体:SUS316L或0.2%BeCu钕磁铁:4kG，烘烤温度（80°C）萨马科瓦磁铁:3.8kG，烘烤温度（280°C）电子冲击加热功率:1000V×100mA施加电压:5kV，100μA安装法兰:ICF070（Cu衬垫）头重量:2.8kg

■倒置磁控管型NEG辅助泵IMP&G是一种离子泵，当NEG泵抽真空至超高/超高真空时，可排出剩余的氩气和甲烷。也可用作高精度冷阴极型真空计，可测量高达 1×10 -10 Pa的压力。

■我们成功地为倒置磁控管型冷阴极真空计增加了排气功能。传统的倒磁控管型冷阴极真空计几乎没有抽真空作用，并且从未有过将倒磁控管型单元用作离子泵的泵单元的例子。之所以没有排气效应，是因为组成阴极的电极表面是氧化层。我们通过在真空中将阴极（Ta）加热到1000℃以上，成功地产生了排气效果。通过加热，电极表面的氧化物被去除，稀有气体离子通过捕获（捕获）被排出，这是在构成阴极的金属之间捕获离子的作用。