日本vaclab超低气体排放分析仪低辐射热导率

日本vaclab超低气体排放分析仪低辐射热导率 WATMASS MPH 100M 特点介绍

■低辐射/高导热率0.2%BeCu合金离子源法兰，减少灯丝热量的影响，实现超低气体排放RGA，可在10 -10Pa范围内进行气体分析

■Ptlr合金栅+强电子轰击脱气通过这种机制，与传统产品相比，氢气和ESD的伪峰值降低到1/1000以下。

■所有组件均在电炉中拆卸和脱气。

日本vaclab超低气体排放分析仪低辐射热导率 WATMASS MPH 100M 规格参数

当使用阀门关闭并且不使用排气泵时， WATMASS 可以保持 10 -7 Pa的真空长达一年。这意味着即使灯丝打开，从传感器释放的气体也小于质量分析中因电离（泵送作用）而损失的气体量。通过大幅降低气体排放，我们实现了迄今为止不可想象的新气体分析应用。

　通过将 WATMASS 与由 0.2%BeCu 合金（一种具有低辐射和高热导率的低气体排放材料）制成的测量系统相结合，可以通过简单的样品加热机制进行各种新的气体分析。换句话说，由于腔室和 RGA 不吸收从加热机构发出的红外辐射，因此不存在热扰动，并且可以进行真实的气体分析。另外，通过在排气泵和腔室之间连接金属阀门，并在腔室排气后关闭阀门以将其密封，可以进行超痕量气体分析。