日本nichinetu圆形热板液晶和半导体制造用 液晶和半导体制造过程中的加热和冷却我们提供具有优异的表面温度均匀性、高精度平面度和表面粗糙度的面板。它用于液晶和半导体工艺中加热和冷却热板,并受到好评。我们还支持在高真空条件下使用的热板。我们可以根据您的要求提供面板材料和表面处理。
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日本nichinetu圆形热板液晶和半导体制造用 特点介绍
液晶和半导体制造过程中的加热和冷却
我们提供具有优异的表面温度均匀性、高精度平面度和表面粗糙度的面板。
它用于液晶和半导体工艺中加热和冷却热板,并受到好评。
我们还支持在高真空条件下使用的热板。
我们可以根据您的要求提供面板材料和表面处理。
日本nichinetu圆形热板液晶和半导体制造用 规格参数
板材材质铝材(例如A5052、A5056)、铜材等
表面处理阳极氧化处理、化学镀镍处理等
表面粗糙度最小 0.8Ra
温度感应器PT100、TC(K)等
外径尺寸对于~300φ
厚度尺寸一般为30毫米
电压一般为200V
常温、常湿、无风、空载下的测量值。
根据实际使用情况可能会有所不同。
控制温度200℃ 300℃
保证温度均匀性电阻值<1℃ 电阻<2℃
平整度(加热后)0.05毫米 0.1毫米
板材材质主要由铝制成
表面处理根据使用环境选择
表面粗糙度0.8Ra以下
温度感应器护套类型TC(K)等
外径尺寸对于~300φ
厚度尺寸一般为45毫米
电压一般为200V
板材材质主要由铝制成(例如A5052)
表面处理阳极氧化铝处理等
表面粗糙度1.6Ra以下
温度感应器PT100、TC(K)等
外径尺寸~2200×2500mm
厚度尺寸一般为50毫米
电压一般为200V