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美国Entegris耐腐蚀检测电镀溶液解氧测定仪

美国Entegris耐腐蚀检测电镀溶液解氧测定仪 Entegris

一种先进的基于光学的监测解决方案,用于检测和监测电镀溶液应用中极低水平的溶解氧。InVue ®溶解氧分析仪 (DOX) 连续测量溶解氧,过程影响最小。

与溶解氧发生反应的高灵敏度发光体(可在安装位置更换)
耐腐蚀、高纯度设计,PTFE 外壳内有干净的硅胶润湿膜
两个模拟输出:浓度和温度

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  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-10-11
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美国Entegris耐腐蚀检测电镀溶液解氧测定仪 Entegris 特点介绍


一种先进的基于光学的监测解决方案,用于检测和监测电镀溶液应用中极低水平的溶解氧。InVue ®溶解氧分析仪 (DOX) 连续测量溶解氧,过程影响最小。


与溶解氧发生反应的高灵敏度发光体(可在安装位置更换)

耐腐蚀、高纯度设计,PTFE 外壳内有干净的硅胶润湿膜

两个模拟输出:浓度和温度


美国Entegris耐腐蚀检测电镀溶液解氧测定仪 Entegris 规格参数


电镀液装置和槽中溶解氧的存在是工艺用药液的重要课题。当溶解氧达到不可控制的水平时,会导致反应性降低或触点腐蚀。

为了满足这一关键工艺要求,InVue采用先进的、基于光学的高灵敏度发光管(传感器),用于高纯度、高反应性镀液装置和槽应用。

™(预览)开发了溶解氧浓度计。这种透视溶解氧浓度计,经过验证的发光、通过利用检测技术,可持续测量溶解氧水平,

通过PTFE壳体内的清洁硅液相接膜,透视浓度计可监视金属反应性镀液中的溶解氧水平。

这可以提高工艺生产率,延长设备和工艺液的使用寿命,从而降低运营成本。

此外,在下一代20纳米以下前端光线(FEOL)和后端光线(BEOL)工艺中,可提供类似的性能。

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