美国Entegris高性能液体浓度计化学机械抛光

美国Entegris高性能液体浓度计化学机械抛光 Entegris CR288型 特点介绍

折反射方法提供的准确性和响应时间

低成本、高性能浓度计使您能够监控 BEOL、FEOL 和子晶圆厂中的化学配方和输送系统，以提高工艺效率。  

随附的 288 Connect 软件可在几分钟内完成现场校准，从而降低拥有成本

紧凑的设计允许在化学管道中在线安装

利用Inview CR288液体浓度计的在线实时折射率测量技术，可以在以下测量点（最多4个位置）监测化学溶液。

清洁 BEOL 和 FEOL

化学机械抛光

电镀

光刻法等

美国Entegris高性能液体浓度计化学机械抛光 Entegris CR288型 规格参数

传感器部分： 流通池 改性聚四氟乙烯* 

湿透的窗户 半导体级蓝宝石* 

电缆连接器 聚丙烯/聚偏氟乙烯  

引擎盖 聚丙烯 

安装板 聚偏氟乙烯 

传感器使用条件： 流体压力 0 - 0.55 兆帕 

流体温度 5°C - 50°C 

流体折射角 1.28000 至 1.40000 ** 

直达： 电源 24 VDC (± 5%), 0.5 A 或以上 

电源（使用适配器时） 110/240VAC，50/60±3Hz 

串行端口 RS-232 

模拟输出 4 - 20 mA（温度和浓度），每个 DDU 最多 4 个传感器