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美国Entegris液体流量控制器耐腐蚀高精度 Entegris 6500/6550型适用于高纯度应用的 PTFE 润湿表面耐腐蚀非金属零件内置压力传感器提供额外的过程信息精确至满量程的 1%，非常适合分配关键化学品紧凑的设计可以在有限的空间内轻松安装高精度分配流量和快速响应
产品型号：6500/6550型厂商性质：经销商更新时间：2024-10-11访 问 量：360
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美国Entegris液体流量控制器耐腐蚀高精度 Entegris 6500/6550型 特点介绍
6500型
适用于高纯度应用的 PTFE 润湿表面
耐腐蚀非金属零件
内置压力传感器提供额外的过程信息
精确至满量程的 1%，非常适合分配关键化学品
紧凑的设计可以在有限的空间内轻松安装
高精度分配流量和快速响应
6550型
采用经过验证的可靠差压流量测量技术和先进的闭环过程控制技术
使用视觉指示器诊断预防性维护、故障排除和警报状况
集成压力传感器提供详细的压力信息
使用气泡生成介质实现的测量和控制
稳健的设计确保稳定性和长期可靠性
设计用于 60、90 或 120 L/min 流量
美国Entegris液体流量控制器耐腐蚀高精度 Entegris 6500/6550 规格参数
过程温度 10-65℃
电源 24 伏直流 (± 10%) @ 1 安
电力输出 两个电气隔离输出（4 至 20 mA），用于流量测量和压力测量
流量测量 20 至 100% 流量范围内为满量程的 ± 1%
流量范围为 10 至 20% 时为满量程 ± 2.5%
（使用 23 °C 纯水校准）
重复性 20 至 100% 流量范围时，满量程的 ± 0.5%
对于 10 至 20% 流量范围，满量程的 ± 1%
压力测量范围 0至414kPa
最小工作压力（入口） 69kPa
最大工作压力 414千帕
超压极限 690千帕
压力测量精度 满量程的 ± 1%（包括线性度、迟滞性和重复性的综合影响）
电气设备外壳标准 IP54
可靠性 接液部件，超过300万次
响应时间 3 秒内从 10% 升至 95% 全量程
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