日本kokusai高频电源用等离子体、半导体等

日本kokusai高频电源用等离子体、半导体等 特点介绍

这是用于半导体制造设备和工业加工机器等离子发生的高频电源。我们生产各种频率（HF 至 UHF）的高频电源和匹配盒。

我们利用在无线通信系统开发中长年积累的高频技术，实现了高反射电阻。

在等离子体阻抗分析的支持下，可以优化匹配盒，提高匹配收敛速度。

日本kokusai高频电源用等离子体、半导体等 规格参数

通过采用具有高反射功率容限的最新器件，我们实现了即使在全反射状态下也能在一定时间内实现输出的设计，无需隔离器且无输出下降。

高频电源的设计必须假设负载会动态变化。例如，即使等离子体点燃前后出现较大的负载波动，反射系数从无穷大变为零，器件也一定不会损坏。

一般情况下，如果负载情况不好，可以降低输出，以保护器件本身，并在匹配盒完成匹配操作后，输出的输出，也可以应用于无法完成的应用。时间。

*1RF：射频*2RF 上升时间：RF 输出从 10% 上升到 90% 的时间

RF 下降时间：RF 输出从 90% 下降到 10% 的时间

频率HF频段、VHF频段 

输出功率5/10/20/30/40KW 

输出方式连续、脉冲 

这是用于半导体制造设备和工业加工机器等离子发生的高频电源。我们生产各种频率（HF 至 UHF）的高频电源和匹配盒。

我们利用在无线通信系统开发中长年积累的高频技术，实现了高反射电阻。

在等离子体阻抗分析的支持下，可以优化匹配盒，提高匹配收敛速度。