日本toyokokagaku高灵敏度紧凑质谱仪分析仪

日本toyokokagaku高灵敏度紧凑质谱仪分析仪 ASTON Impact 特点介绍

“ASTON Impact"是一款适用于气体分析的过程气体监测的高灵敏度质谱仪。

这是一款追求性价比和易用性的电子电离离子源型号。

它节省空间并允许您监测大气压区域的气体。

虽然体积小，但质量范围扩展至m/z285，作为过程气体监测用质谱仪，成功实现了超越其他公司的高灵敏度测量。

它采用节省空间的设计，包括配备电子电离源和二次电子倍增器的小型四极传感器以及泵。

日本toyokokagaku高灵敏度紧凑质谱仪分析仪 ASTON Impact 规格参数

替代使用氦 (He) 载体的分析仪，例如气相色谱仪

FT-IR 分析仪的替代品

用于连续分析废气以回收二氧化碳 (CO 2 )

测量废气中氢气（H 2 ）和其他气体的浓度

半导体设备的气体测量

CVD 清洗终点

蚀刻端点

薄膜沉积工艺条件测量

用于干泵维护和安全保证的气体测量

发酵过程中产生的气体（乙醇等）的监测和测量

NMP监测测量

冷冻干燥过程中的残余水分管理测量

废气管理测量

检测各种气体泄漏的测量

1.首先

化学气相沉积（CVD）广泛应用于半导体制造工艺中。它包括许多形成氧化膜和金属膜的步骤。

在 CVD 中，固体沉积物在腔室内壁上的积累以及由此产生的颗粒对工艺产生重大影响。

因此，根据成膜频率需要进行腔室清洁。

通常，腔室清洁是通过考虑终点的经过时间来控制的。

2.测试方法

1. 用不锈钢管将阀门和 ASTON Impact 连接到 CVD 设备。

2. 开始清洁过程并开始测量 ASTON Impact。

3. 监测反应产物和清洁气体的趋势。