wkfluidhandling高纯度风箱泵制造半导体用

wkfluidhandling高纯度风箱泵制造半导体用 PSR/PSS/PSH系列 特点介绍

PSR系列泵是环境温度、超纯再循环应用的理想解决方案。这些聚四氟乙烯泵和PFA泵是金属自由的,使用一个的穿梭阀,不需要复杂的缓和和手动重置。

他们安全可靠地连续运行。它们提供高达4巴(60磅)的空气供应压力,并在流体温度高达100℃(212℃)的热循环应用中运行。

PSH系列泵是高温、超循环和输送应用的理想解决方案。这些聚四氟乙烯泵和PFA泵是金属自由的,使用一个的穿梭阀,不需要复杂的缓和和手动重置。

他们安全可靠地连续运行。它们提供的空气供应压力高达5.5巴(80磅),并在流体温度高达145℃(293华氏度)的热循环应用中运行。

这种泵有四种型号,即:Psh015型、Psh030型、Psh060型和Psh140型,它们的最大流量分别为每分钟15、30、60和140升。

wkfluidhandling高纯度风箱泵制造半导体用 PSR/PSS/PSH系列 规格参数

100% Metal-Free

过程安全的聚四氟乙烯和PFA流动路径

防漏、机械设计

带按钮的ptfe头

无弹性体O形圈,无泄漏,无再转矩

换档机构没有润滑

没有产生热量的电动机

气动逻辑使液体脉动和泵振动最小化

各种液体连接选项

由于无金属设计,安全、无泄漏操作

航天飞机阀门中的陶瓷

耐用设计的最小部件

第100级清洁室装配、测试和包装

易于安装和服务

两年保质期内无预防性维护

强劲的风箱提供5.5巴(80磅)的供应压力

死头操作

模型PSH015PSH030PSH060PSH140

最大流量* 13.4 lpm

3.54每分钟 22.8 lpm

6.02每分钟 58.3 lpm

15.40每分钟 118 lpm

31.3每分钟 

空中连接尺寸 1/4-in FNPT 1/4-in FNPT 1/4-in FNPT 3/8-in FNPT 

每个周期的流离失所* 0.074升

0.019加仑 0.074升

0.019加仑 0.178升

0.047加仑 0.500升

0.132加仑 

每分钟循环* 最多216 最多333 348最多 最多254