日本shibaura皮拉尼压力计高耐腐蚀性半导体

日本shibaura皮拉尼压力计高耐腐蚀性半导体 GPW 系列 特点介绍

广域测量：可测量大气压至5×10 -2 Pa的广域

节省布线：集成传感器和控制器可减少布线、空间和功耗。

提高可视性：配备 LED，可让您检查异常情况

可一键式调整：可一键式进行气压调整和零点调整。

可维护性：易于更换探头

灯丝材料： 铂(Pt)：灯丝材料采用具有高耐腐蚀性的铂。

测量值输出信号：压力0～10V的对数输出为标准配置。

提高抗冲击性：具有高抗冲击性的设计结构

控制输出信号：可输出两个设定点（GPW-1）

串行通讯规格：可进行RS-232C/RS-485通讯（仅限GPW-2）

用于太阳能电池、FPD、半导体和电子元件等各种制造设备的低真空区域的过程控制。

用于熔炉等各种工业设备低真空区域的过程控制

用于直列式、单晶圆式等具有多个处理室的各种制造设备的低真空区域的过程控制。

日本shibaura皮拉尼压力计高耐腐蚀性半导体 GPW 系列 规格参数

模型GPW-1GPW-2

可连接探头一 

自适应探头SWP-16 (NW-16) 

测量压力范围5.0×10 -2 ~ 1.0×10 5 Pa 

测量精度*1 × 10 -1～ 1 × ×10 4 Pa ：± 10 %

5.0 × 10 -2～ 1.0 × 10 -1 Pa、1 × 10 4 Pa ～ 1 × 10 5 Pa ： ± 20 % 

重复性1×10 -1 Pa～1×10 4 Pa：±2% 

采样时间50 ms 5次移动平均处理 

测量值输出 输出电压直流0-10V 

压力指示（日志输出）1.7 V 至 8.0 V，1V/位 

更新时间50毫秒 

控制输入信号集电极开路输入、负逻辑

ADJ调节（零点调节、大气压调节） - 

控制输出信号集电极开路输出

负逻辑 [额定值：30 VMAX、50 mAMAX、70 mW]

错误信号

设定点 1、2 - 

设定点监视器设定点 1、2：0 至 10 V 日志输出 - 

串行通讯规格- RS232C/RS485 

LED显示屏电源/错误：电源、错误 LED