日本toko-valex超低温用调节阀真空控制液氦

日本toko-valex超低温用调节阀真空控制液氦 T-8810 特点介绍

是用于控制液氦等接近于绝对零度的超低温流体的调节阀。 

其特征在于，采用将阀门焊接于真空容器上的结构。

该阀门内件采用了用于低温运转的带咬合结构，能够防止热振动以及避免因热变动而导致配管发生偏斜。

从手机到电脑、汽车，半导体是现代工业产品的主角之一。

在半导体行业中，是以单晶硅制造成套设备及日光发电晶圆制造成套设备、蚀刻及清洗用气体制造成套设备、超纯水设备为核心，运用我公司产品。

尤其是蚀刻及清洁用气体，由于包含毒性流体，所以大量采用了带有膜盒的控制阀。

日本toko-valex超低温用调节阀真空控制液氦 T-8810 规格参数

型号T-8810 

型号超低温用调节阀 

连接差込溶接・突合せ溶接 

公称直径（A）6～50 

额定Cv值0.01～48 

主体材料SUS316L 

阀盖材料SUS316L 

延长管材料SUS316L 

内件材料SUS316L 

垫圈材料锯齿形金属垫圈 

流量特性等百分比（范围度 50:1）、线性

快速打开（开闭） 

可配备的驱动部分隔膜电机：T-5系列、空气式气缸、电子式：MSP/PSN系列、电动式：CMS系列 

选配件氦气泄漏试验、真空套管、热锚 

内件形状：PCTFE盘

内件附加处理：钨铬钴合金硬化处理