日本toko-valex毒性流体及真空控制的调节阀

日本toko-valex毒性流体及真空控制的调节阀 T-8115 特点介绍

采用包含外压式膜盒的结构，与一般的轴封结构相比，密封性能更高，是一款能够有效毒性流体及真空服务的调节阀。

从手机到电脑、汽车，半导体是现代工业产品的主角之一。

在半导体行业中，是以单晶硅制造成套设备及日光发电晶圆制造成套设备、蚀刻及清洗用气体制造成套设备、超纯水设备为核心，运用我公司产品。

尤其是蚀刻及清洁用气体，由于包含毒性流体，所以大量采用了带有膜盒的控制阀。

日本toko-valex毒性流体及真空控制的调节阀 T-8115 规格参数

型号T-8115 

型号带全夹套单座膜盒调节阀 

额定压力JIS　10K～63K、ASME/ANSI　150～1500 

连接法兰型 RF 

公称直径（A）15～300 

主体材料0.01～1440（开闭：0.4～1600） 

主体材料SCPH2、SCS13A、SCS14A 

内件材料SUS316、SUS630 

膜盒材料SUS316 

填料材料PTFE-V 填料、弹性石墨 

垫圈材料PTFE、膨胀石墨 

流量特性等百分比（范围度 50:1）、线性、快速打开（开闭） 

可配备的驱动部分隔膜电机：T-5系列、空气式气缸、电子式：MSP/PSN系列、电动式：CMS系列 

选配件范围度 100:1

蒸汽套、特殊填料 

内件材料：SUS304L、SUS316L

内件形状：PTFE盘 

内件附加处理：钨铬钴合金硬化处理

连接：插入焊接、对焊、其他特殊接头