日本toko-valex二方形酸碱用调节阀耐腐蚀

日本toko-valex二方形酸碱用调节阀耐腐蚀 T-8210 特点介绍

接触液体部分由树脂构成，耐酸碱腐蚀性优异。另外，利用PTTE膜盒实现无轴封结构，提升密封性能。

从手机到电脑、汽车，半导体是现代工业产品的主角之一。

在半导体行业中，是以单晶硅制造成套设备及日光发电晶圆制造成套设备、蚀刻及清洗用气体制造成套设备、超纯水设备为核心，运用我公司产品。

尤其是蚀刻及清洁用气体，由于包含毒性流体，所以大量采用了带有膜盒的控制阀。

日本toko-valex二方形酸碱用调节阀耐腐蚀 T-8210 规格参数

型号T-8210 

型号二方形酸碱用调节阀 

连接规格JIS、ASME/ANSI 法兰型 RF 相当 STAD式 

公称直径（A）15～65 

额定Cv值0.01～63 

主体材料PVC、PTFE（阀体外壳为SCS13A） 

阀盖材料SCS13A 

阀塞材料PTFE 

膜盒材料、耐压PTFE：0.55MPa　G 

流量特性等百分比（范围度 50:1） 

使用压力范围0.5MPa G 以下、大气压～1.2kPa abs（9torr） 

使用温度范围PVC：0～50℃　PTFE：0～100℃ 

可配备的驱动部分隔膜电机：T-5 系列

电子式：MSP/PSN 系列、电动式：CMS 系列 

选配件范围度 100:1

阀体材料 PP（聚丙烯）、底座部分：0形环 

膜盒耐性：PTFE　１MPa G

流量特性：快速打开（开闭）