日本kitzsct低压金属隔膜阀分流器耐高温 KD-K系列这是一款全金属隔膜阀,可承受高达250°C的环境温度。所有部件,包括执行器以及与气体接触的部件,均设计为能够在高温环境下使用。
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日本kitzsct低压金属隔膜阀分流器耐高温 KD-K系列 特点介绍
这是一款全金属隔膜阀,可承受高达250°C的环境温度。所有部件,包括执行器以及与气体接触的部件,均设计为能够在高温环境下使用。
◎通过将车身纵孔尺寸最小化,将内容积缩小至1.4cm(1/4"CVC雄型Open时),实现优异的气体置换特性。
◎通过气体接触部密封结构,追求的密封性能和高耐久化、脱气性能、耐腐蚀性能。
◎通过严格挑选的隔膜材料的高耐腐蚀性能的成型方法加工,最大限度地消除了个体差异,实现了高耐久性能。
◎通过制造环境和内表面研磨处理,对应半导体用高纯度气体,将颗粒性能追求极限。
日本kitzsct低压金属隔膜阀分流器耐高温 KD-K系列 规格参数
尺寸KD2(1/8")KD4(1/4")KD8(1/2")KD12(3/4")CV值0.05 0.27 0.7 1.7使用最高压力0.98MPa(G)接气部内容积※1 PCTFE、PI、PFA 0.23cm3 1.4cm3 7.4cm3 25cm3金属1.3cm3 7.5cm3不支持使用流体温度范围PCTFE-10°C~80°CPFA手动阀-10°C~150°C自动阀-10°C~120°C(150°C实际使用50万次)PI-10°C~150°C金属(主体材质)※3-10°C~200°C不支持环境温度范围-10°C~60°C检查泄漏量内部泄漏PCTFE、PI、PFA1×10-10Pa·m3/s以下金属3 x 10-10Pa·m3/s以下未对应外部泄漏1×10-10Pa·m3/s以下操作压力(自动阀)0.4~0.7MPa(G)