日本hamai洁净规格不锈钢隔膜阀精密抛光

日本hamai洁净规格不锈钢隔膜阀精密抛光 FSC-55LN 特点介绍

标准FS-55LN型号高纯气体隔膜阀，具有高清洁度和清洁规格。

结构采用经过验证的55L型，阀体与气体接触部分经过内部精密抛光（1S以下）。通过对包括 kerep 在内的所有气体接触部件使用抛光部件，我们实现了无颗粒操作。

最后的清洗是在洁净室中使用超纯水进行的，从组装到检查的所有过程均按照基于高压气体安全法（部分气体除外）的严格制造标准进行。

日本hamai洁净规格不锈钢隔膜阀精密抛光 FSC-55LN 规格参数

・作为高纯度气体（半导体特殊材料气体）在很多情况下使用的FS-55LN的高净化、洁净规格型号。

-本体采用SUS316L不锈钢材料。

・阀体的气体接触部分进行精密的内部研磨（1S以下）。

・所有与气体接触的金属材料均采用 Kelep 等抛光材料制成，以确保无颗粒性能。

- 手柄打开/关闭操作轻便、平稳。容器内压14.7MPa，可通过手动操作关闭。

・压缩气体阀的参考Cv值为0.3。

- 从磷化氢、砷化氢等特殊原料气体到高纯度氦气、高纯度氯气、氨气等液化气体，我们都能处理。

・使用氦检漏仪测量所有泄漏（内部泄漏、外部泄漏）。

- 压盖部分配备防止振动导致松动的机构。

・还有可在加油口内安装节流孔的类型。