日本miyuki气动真空蝶阀导电性能强高速排气

日本miyuki气动真空蝶阀导电性能强高速排气 MIYUKI/美幸辉 B/BH系列 特点介绍

01. 气缸虽小，但打开时推力加倍（运行可靠），并在行程末端提供气垫效果（缓和冲击）。

02.全关时，阀体密封。

03.安装姿势、方向无限制。

04.表面极薄，具有优异的导电性能。

05.在洁净室中组装和检查。

01.阀门开度可在0度至45度和90度（全开）两种位置操作，因此一个阀门即可进行慢速排气和高速排气。

02.除了普通的全闭式和全开式气缸外，该气缸为两级结构，可在0度至45度范围内任意设定阀门开度。

03. 气缸虽小，但打开时推力加倍（运行可靠），并在行程末端提供气垫效果（缓和冲击）。

04.全关时，阀体密封。

05.安装姿势或方向没有限制。

06.表面极薄，具有优异的导电性能。

07.在洁净室中组装和检查。

日本miyuki气动真空蝶阀导电性能强高速排气 MIYUKI/美幸辉 B/BH系列 规格参数

法兰型JIS/ISO/KF(西北)/CF 

口径25A～400A 

泄漏量1×10 -9 Pa・m 3 /s以下 

使用面积10 5 ~10 -5 Pa 

气体接触材料SUS304 

盘式密封氟橡胶O型圈 

轴封氟橡胶O型圈 

工作气压0.4～0.6MPaG 

打开/关闭显示带微动开关（用于检测打开/关闭位置） 

法兰型JIS/ISO/KF(西北)/CF 

口径25A～350A 

泄漏量1×10 -9 Pa・m 3 /s以下 

使用面积10 5 ~10 -5 Pa 

气体接触材料SUS304 

盘式密封氟橡胶O型圈 

轴封氟橡胶O型圈 

工作气压0.4～0.6MPaG 

打开/关闭显示带微动开关（用于检测打开/关闭位置）