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产品分类日本mitaka非接触式微透镜阵列三坐标测量机 MA系列配备了NH系列的所有基本形状测量功能,可以测量透镜和模具的横截面形状,并使用专用软件一次性测量曲率和中心坐标。
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日本mitaka非接触式微透镜阵列三坐标测量机 MA系列 特点介绍
配备了NH系列的所有基本形状测量功能,可以测量透镜和模具的横截面形状,并使用专用软件一次性测量曲率和中心坐标。
可以使用高精度图像处理来评估镜片的光学特性。
评价项目:有效焦距/后焦距/透过率/焦点位置/焦深/MTF
矩阵创建软件
专用矩阵测量软件可记忆阵列模式并允许顺利自动测量。
非常适合 MLA 的研发和质量控制,MLA 的尺寸越来越细、面积越来越大。
NH显微镜部分可配备Nomarski微分干涉光学系统。
该光学系统可以直观地捕获数十埃的表面粗糙度和划痕,这是普通明场光学系统无法观察到的,并且可以使用激光探头在现场进行定量粗糙度和台阶测量。
日本mitaka非接触式微透镜阵列三坐标测量机 MA系列 规格参数
使用镜片形状测量
激光探头进行测量
- 各镜片表面的曲率半径、中心坐标值
、圆度
、顶点高度、XY坐标
、截面、三维形状测量、表面粗糙度测量
通过图像处理进行测量
・有效焦距
・后焦距、MLA有效焦距
・各镜头的对焦位置及位置偏移
・各镜头的对焦光斑尺寸
・透过率
・焦平面处的成像评价(彗形像差、畸变像差等)
-深度焦点(可选)
- MTF 测量(可选)
移动范围(X、Y、Z、AF)
100, 100, 100, 10毫米
XY轴刻度分辨率
0.1μm
AF轴刻度分辨率
0.01μm
测量原理
点自动对焦方法 ISO 25178-605
激光
λ = 635nm 输出小于 1mW