日本mitaka非接触三维测量装置高精度耐磨损

日本mitaka非接触三维测量装置高精度耐磨损 NH系列 特点介绍

NH系列实现了高精度和易用性，

解决了过去的测量问题。

・可在不损坏测量对象的情况下进行测量

・擅长测量陡峭的斜坡和大的凹凸不平

・直接测量镜面和透镜等透明物体

非接触式测量可防止探头磨损

由于不存在非接触式探头磨损等连续变化，因此

日常维护也更加容易。

始终可以观察到测量点和工件表面的激光光斑。图像处理可实现边缘检测和圆测量。

高精度、高刚性XY平台

NH系列的XY平台基于“高精度识别=坚固机构"的理念，经过精心加工和一一检验，实现高精度运行并行度。

日本mitaka非接触三维测量装置高精度耐磨损 NH系列 规格参数

出色的角度跟踪

高灵敏度自动对焦传感器可捕获表面的轻微反射光。能够直接精确测量陡坡和台阶。

与表面颜色和反射率无关

可以直接测量从表面反射率约为 0.5% 的镀膜玻璃到反射率超过 90% 的镜面。

NH 系列由用于高度测量的激光自动对焦 (AF) 显微镜和高精度 XYZ 平台组成。图中，送入显微镜镜筒的激光束穿过物镜，向光轴中心焦平面行进，在工件表面反射，再次穿过物镜，在工件表面形成图像。自动对焦传感器。散焦时，激光光斑在传感器上的位置会发生变化，因此传感器会捕获此位置变化，并使用 AF 驱动机构将物镜定位到焦点。自动XY平台扫描工件并捕获每个聚焦点的XYZ值以测量形状。这种方法可以在大范围内进行高精度测量，而不受工件表面颜色或反射率的影响。此外，除了传统的指数测量模式外，它还配备了扫描自动对焦模式，可实现粗糙度测量等高速测量。