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日本tokyokeiso超声波流量计检测器控制阀 CLFC300系列 特点介绍
CLFC300系列是集成了超声波流量计检测器、控制阀以及进行流量计算和阀门控制的电路的流量控制器。
配备可速追随目标流量的控制功能,适用于半导体设备所需的各种液体的控制,如化学液体的定量供给、DIW的流量控制、浆料流体的定值控制、等等。
日本tokyokeiso超声波流量计检测器控制阀 CLFC300系列 规格参数
· 改进的可控性
我们改进了常规的计算处理,进一步提高了抗气泡性。
流量测量的稳定性也得到了提高。
· 改进的可控性
在阶跃响应性能方面,我们利用最新的运算电路实现了极快的响应,实现了1.5秒内达到设定值的控制速度。
· 两种阀门类型可供选择
我们有用于化学液体和 DIW 的针阀,以及用于浆料流体的夹管阀。
我们在夹管类型中新添加了 STA-PURE 型 PC 管。
StaPure 管非常耐用,无需更换管,而以前需要定期更换。
· 更小更轻
超声波流量计检测器、控制阀和电路装在一个小外壳内,安装在设备内部时节省空间。
结构经过重新设计,使传统产品更加紧凑。(减少 20%)
由于小型化,重量也减轻了。(下降 35%)
· 减少布线和管道
安装时,只需连接流体进出口接头并使用多芯电缆进行电气接线即可,无需复杂的配管和接线。
· 环保
减少电流消耗。(实际值减少 35%)
由符合 RoHS 的部件构成。
· 高耐腐蚀性
接液部件采用 PFA 和 PTFE 等高耐腐蚀性材料,可用于半导体行业和处理化学品的各种行业。
表壳材质也采用PVDF。