日本tem-tech压力测量传感器用于粘性、泥浆 SE4000适合粘性 CMP 浆料的压力测量。由于没有死角,因此不存在 CMP 浆料硬化或气泡等问题。PFA 传感器采用流通式结构,可兼容高粘度-0.1或0~0.3、0.5、1MPa兼容电流/电压输出、喇叭口、Super300等配件接液部分:PFA应用:泥浆
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日本tem-tech压力测量传感器用于粘性、泥浆 SE4000 特点介绍
适合粘性 CMP 浆料的压力测量。由于
没有死角,因此不存在 CMP 浆料硬化或气泡等问题。
PFA 传感器采用流通式结构,可兼容高粘度
-0.1或0~0.3、0.5、1MPa
兼容电流/电压输出、喇叭口、Super300等配件
接液部分:PFA
应用:泥浆
高精度陶瓷传感器与高纯度PFA隔膜的接合结构
⚫接液部材质为无需担心金属离子流出的高纯度PFA
⚫采用无封入液的驱动传感器,破损时不产生污染
⚫传感器和隔膜双重结构可实现1MPa的高压测量
⚫也可确认负压状况
日本tem-tech压力测量传感器用于粘性、泥浆 SE4000 规格参数
测定流体药液、超纯水、强酸、不因碱等腐蚀性流体而损害接触液部材质接触气体部材质PFA隔膜、PFA接触液部、聚丙烯上部壳体测定范围0—0.3、0.5、1MPa容许极限压力0.75MPa(测定范围0.3、0.5MPa)、1.25MPa(测量范围1MPa)电源电压DC24V±10%DC15~24V输出信号4~20mADC(2线式)0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC(3线式)综合精度±1%FS(标准25°C、直线性、歇斯底里包括再现性)温度补偿范围15~40°C(无结冰、结露)动作温度范围0~80°C(无结冰、结露)温度特性±0.5%FS/°C(温度补偿范围内)相当于IP55保护等级※室内规格安装螺钉管、PT、NPT、浮动、超级300螺钉尺寸3/8"、1/2"、3/4"、1"(请咨询其他)电缆取出直连电缆、防水连接器(其他请咨询)附带电缆3m标准(2芯+屏蔽线)3m标准(3芯+屏蔽电缆)