日本Ebara-keiki压力传感器半导体高性能

日本Ebara-keiki压力传感器半导体高性能 EBARA/荏原 ESP-7 特点介绍

ESP-7 压力传感器是采用扩散半导体的高性能传感器。

来自检测部分的信号经过内部放大器电路放大，由调节器转换为 4 至 20 mA，然后传输。

● 采用扩散型半导体传感器，具有优异的可靠性和耐久性。

●受压部分采用SUS316L不锈钢。 

●  50kPa 以下的微压测量具有出色的稳定性。

● 可用于多种测量用途，包括空气、水、油等。

●我们生产各种应用产品， 主要是ESP-7型压力传感器，例如隔膜压力传感器和卫生压力传感器，非常适合食品、化学品和药品等各种用途。

日本Ebara-keiki压力传感器半导体高性能 EBARA/荏原 ESP-7 规格参数

流体的压力首先由不锈钢膜片①承受。

该压力通过密封在内部的硅油②无压力损失地传递至扩散型半导体传感器。

扩散型半导体压力传感器中，硅基板⑥与玻璃台座⑨接合，其中央部被蚀刻成薄膜片状。

传递的压力使隔膜变形，并改变顶部形成的压阻式仪表 ⑦。

压阻式压力计由低电流驱动，并通过键合线 ⑤ 输出与压力成比例的电信号。

电信号经内部电路板的放大器电路部分放大，然后使用调节器作为调节信号输出为4至20mA的电流输出或1至5V的电压输出。

扩散型半导体压力传感器因温度变化而输出变化较大，因此我们的压力传感器根据其各自的特性进行温度补偿。