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日本technomu翘曲测量机XY轴门型非接触式 TCS2100/TCS3100使用激光位移传感器，将工件固定，在传感器移动的同时，以非接触方式高精度测量工件表面高度方向的位移量，并通过下式计算翘曲量：专用软件。待测量的物体范围从晶圆到磨削的金属产品或透明玻璃。这是自动判定作品合格与否的检查机。
产品型号：TCS2100/TCS3100厂商性质：经销商更新时间：2024-10-10访 问 量：202
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日本technomu翘曲测量机XY轴门型非接触式 TCS2100/TCS3100 特点介绍
使用激光位移传感器，将工件固定
，在传感器移动的同时，
以非接触方式高精度测量工件表面高度方向的位移量，并
通过下式计算翘曲量：专用软件。
待测量的物体范围从晶圆到磨削的金属产品或透明玻璃。
这是自动判定作品合格与否的检查机。
日本technomu翘曲测量机XY轴门型非接触式 TCS2100/TCS3100 规格参数
・ 以低成本实现高精度测量
・ 高速XY平台，数据采集速度快
・ 由于是非接触式，因此无需担心损坏测试对象。
・ 被测物体的影响很小
・ 可以测量从晶圆到研磨金属产品或透明玻璃的任何物体
・ 底座采用石材面板，可最大限度地减少老化。
・ 多种测量模式快速测量
・ 通过登记工件的判断基准值，可以自动判断OK或NG。
・ 我们将根据工件制作测量台等（请咨询我们）。
・ 测量面积：200×200mm、300×300mm、其他按要求
・ 测量方式：XY扫描法
・ 可用的激光位移计：三角测量、共焦、光谱干涉激光、多激光同轴
・ 分辨率：~0.001μm（最大）
芯片的弯曲度测量不锈钢、钛、铝、铁板等金属板的翘曲测量磨削加工品的翘曲测量树脂成型品、橡胶加工品等翘曲测定主要适用于方形的测量对象物
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