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日本technomu旋转式平面测量机检测速度快 TFL3100 特点介绍
使用激光位移传感器,
固定工件的工作台旋转,以非接触方式高精度测量工件表面高度
方向,并使用专用软件计算平面度。
圆形平板适合作为待测物体。
甚至可以测量磨削的金属产品或玻璃等透明物体。
这是自动判定作品合格与否的检查机。
日本technomu旋转式平面测量机检测速度快 TFL3100 规格参数
・ 以低成本实现高精度测量
・ 由于测量速度快,适合检查所有批量生产的产品。
・ 由于是非接触式,因此无需担心损坏测试对象。
・ 被测物体的影响很小
・ 可以测量从晶圆到研磨金属产品或透明玻璃的任何物体
・ 通过登记工件的判断基准值,可以自动判断OK或NG。
・ 我们将根据工件制作测量台等(请咨询我们)。
・ 测量面积:2英寸至12英寸以上
・ 测量方式:旋转扫描法
・ 可用的激光位移计:三角测量、共焦、光谱干涉激光、多激光同轴
・ 分辨率:~0.001μm(最大)
以低价格实现高精度测量测量速度很快。因为是非接触的,所以不用担心损坏检查对象。测量对象的影响非常小。实现高精度的面摆精度照片的机型虽然测量对象物在φ100左右,但可根据对象物形状制作