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产品分类TECHNICAL ARTICLES
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日本technomu非接触式截面/粗糙度测量装置 TFS2100系列 特点介绍
该系统使用光斑直径为2μm的位移传感器以非接触方式测量物体的表面粗糙度和截面形状。
由于符合JIS'94和JIS'01,因此可以比较和替换现有数据。
・ 以小尺寸、低价格实现高精度测量
・ 可以使用市售的激光位移传感器。
・ 快速数据采集
・ 由于是非接触式,因此无需担心损坏测试对象。
・ 能够测量透明或镜面物体
・ 被测物体的影响很小
・ 多种测量模式可供选择
・ 粗糙度符合JIS'94和JIS'01
・ 也可以合并您自己的粗糙度参数。
・ 可以根据所使用的物体的形状构建系统。
日本technomu非接触式截面/粗糙度测量装置 TFS2100系列 规格参数
项目目TFS2100AW TFS2100型式别透明体、镜面体的测量可测量半导体激光源670nm可见光CLASSI170μWSS21-80XY80mm激光传感器无(客户自备)Z轴方向测量范围±0.3mm测量方式共焦式工作距离分辨率0.01μm光斑直径φ2μm直线性±0.5%F.S重复精度AC100V±10%50/60Hz60W以下TFS2100系列通用机一览表8μm以内(最大移动时)±1μm以内10μm以内(最大移动时)100mm0.1μm/STEP