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英国VacCoat溅射镀膜机三靶涡轮分子泵阴极

英国VacCoat溅射镀膜机三靶涡轮分子泵阴极 DST3-T

DST3-T 是一种三靶涡轮分子泵多真空镀膜系统,将热蒸发器和溅射镀膜机结合在一个紧凑的桌面系统中。高真空系统适用于多种材料的沉积。三重磁控靶台式溅射镀膜机可以轻松地在蒸发和溅射条件之间切换(不同时)。

  • 产品型号:DST3-T
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-10-10
  • 访  问  量:269
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详细介绍

英国VacCoat溅射镀膜机三靶涡轮分子泵阴极 DST3-T 特点介绍


DST3-T 是一种三靶涡轮分子泵多真空镀膜系统,将热蒸发器和溅射镀膜机结合在一个紧凑的桌面系统中。

高真空系统适用于多种材料的沉积。三重磁控靶台式溅射镀膜机可以轻松地在蒸发和溅射条件之间切换(不同时)。

DST3-T配备了一个大室(直径300毫米)和三个2英寸直径的水冷阴极,使其适合长时间溅射沉积。磁控台式溅射镀膜机配备射频和直流电源。它可以溅射半导体、电介质和金属(氧化和贵金属)靶材。

配备射频电源的 DST3-T 溅射镀膜系统配备自动调节匹配箱,可最大限度地降低射频溅射过程中的反射功率。DST3-T 型号包含可选功能,可增加镀膜对基材的附着力并改善薄膜结构,例如安装 500 ˚C 加热器以在沉积过程中加热基材,或向基材施加 300 V DC 偏置电压。


英国VacCoat溅射镀膜机三靶涡轮分子泵阴极 DST3-T 规格参数


内置涡轮泵,真空度高

双级旋片前级泵(隔膜和涡旋泵)

适用于金属、半导体和电介质的直流和射频(可选)电源

三个 2" 水冷成角度磁控管阴极,适用于生产合金薄膜 (DST3-TA) 和多层沉积

用于 DST3-TS 的大型样品架台(8 英寸)

专为大型基板均匀沉积而设计的阴极掩模 (DST3-TS)

两个固定和可移动石英晶体监测系统,用于实时厚度测量(1 nm 精度)

通过两个精密质量流量计 ( MFC )进行气体注入控制,以精细控制真空压力和氩气流量或反应溅射气体

全量程真空计

阴极选择电机

样品旋转、高度和倾斜可调(适用于 3 英寸样品架)

三个手动或电子(可选)百叶窗


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