日本Anelva皮拉尼真空计耐腐蚀性半导体设备

日本Anelva皮拉尼真空计耐腐蚀性半导体设备 M-351PG 特点介绍

该型号使用Ni丝来提高耐腐蚀性，并与RIE和CVD等硬工艺设备兼容。

半导体、电子器件制造设备、

干式蚀刻设备、等离子体CVD设备、LD-CVD设备等

食品药品制造设备

真空冷冻干燥、真空蒸馏设备、灭菌设备等。

日本Anelva皮拉尼真空计耐腐蚀性半导体设备 M-351PG 规格参数

型号名称M-351PG-SP

（镍丝规格）（带设定点型） 

测量压力范围5×10 -2 ～ 1×10 5 (Pa) 

精度（帕）±50%：5×10 -2 　～ 1×10 -1

±15%：1×10 -1 　～ 1×10 4

±50%：1×10 4 　～ 1×10 5 

再现性±2%：1×10 -1 　～ 1×10 4 Pa 

输入电压直流+14～30V 

能量消耗2W 

模拟输出0-10V 

表计识别电阻值13 KΩ（D-sub 引脚 5 和 9 之间） 

设定点2 个接点输出（1 A 30 V，DC） 

界面- 

输入/输出连接器D-sub9针 

最大电缆长度兼容200 m (0.34 mm 2 ) *1 

工作温度限制5～60℃ 

储存温度范围-20 至 70°C（非工作） 

烘烤温度＜+150 ℃（O型圈规格，仅测头）

＜＋300 ℃（金属密封规格，仅测头） 

允许过载压力1 MPa（仅限于接头形状NPT、仅限于惰性气体、绝压） 

兼容的皮拉尼传感器型号名称MP-2