日本Anelva离子计热阴极电离真空计测量压力

日本Anelva离子计热阴极电离真空计测量压力 M-311HG 特点介绍

这是传感器真空计系列的离子计。离子计（热阴极电离真空计）具有优异的重复性和线性度，可以在较宽的范围内测量压力，使其成为优秀的真空计。

该传感器采用经过验证的微型仪表（MG-2I 型）。

10 -7 Pa 至 10 Pa 的宽压力测量范围，使得可以在不牺牲超高真空性能的情况下测量溅射工艺以外的低真空区域。

高响应模拟输出

压力值的模拟信号输出确保100毫秒内的高响应性，也可用于过程压力控制。

可根据应用选择四种发射电流设置模式

，例如在高压区域使用时提高灯丝寿命

日本Anelva离子计热阴极电离真空计测量压力 M-311HG 规格参数

型号名称离子计

M-311HG-SP M-311HG-RS

压力测量范围1×10 -7 ~ 10 Pa 

输入电压直流20~28V 

能量消耗12W 

模拟输出0-10V - 

设定点2点继电器输出 

界面-  RS485 

输入/输出连接器 Dsub-9（男） 

最大电缆长度 200米（1平方毫米） 

工作温度限制 5～50℃ 

储存温度范围 -20至70℃ 

传感器型号名称微型BA规（MG-2I系列） 

传感器材料（主要部分）灯丝：Y 2 O 3 /Ir，外壳：SUS304 

外形尺寸（毫米）110×70×50