日本Anelva宽量程电离真空计高精度真空测量

日本Anelva宽量程电离真空计高精度真空测量 M-833HG 特点介绍

M-833HG 是微型 BA 仪表专用的控制单元。作为选件，还提供支持各种仪表、数据输出等的扩展板。

通过组合微型 BA 真空计和 TC 真空计（可选）并安装自动切换真空计的自动灯丝，可以实现从大气压到超高真空的高精度真空测量。非常适合安装高真空至超高真空设备。

自动化真空设备的压力测量

溅射等工艺压力的测量和控制

多室系统中的压力测量

通用真空设备压力测量

日本Anelva宽量程电离真空计高精度真空测量 M-833HG 规格参数

型号名称M-833HG

测量球微型量规MG-2系列 

压力显示范围0.1×10 -7 ～ 1.32×10 1 Pa  *1 

压力显示自动测量量程切换 

设定点2点标准装备（集电极开路） 

数模输出0 至 10 V：尾数输出、指数输出

0 至 11 V：复合输出或对数输出 

模拟输出

（静电计输出）设置 APC 模式时（0.1 至 2.5 V）

设置正常模式时（0.1 至 1.6 V） 

外部控制功能

（远程操作）输入 灯丝ON/OFF、

脱气ON/OFF等

6种外部控制功能 

 输出 6种状态信号输出 

特殊功能APC兼容：量程保持功能

静电计输出功能 

外形尺寸(mm)/质量H99×W209×D330，1.9 kg（未安装选件板） 

所需电源100 至 240 VAC *2

100 VA 或更少，50/60 Hz 

发射电流10μA、100μA、1mA自动切换设定或固定设定 

排气栅极电流加热方式 

灯丝开关按键和远程 I/O 操作 

灯丝保护超范围设定点或发射电流 ±50% 变化