日本Anelva电离真空计高精度测量可远程控制

日本Anelva电离真空计高精度测量可远程控制 M-723HG/M-823HG/M-923HG 特点介绍

这是受欢迎的BA型电离真空计系列，配备了多种扩展板，支持多种真空计。

标准配备了真空设备过程控制所需的远程控制功能和范围保持功能。还备有可通过 CC-Link 进行通信控制的类型。

M-823HG 高精度涵盖从大气压到高真空的所有压力。

压力范围自动切换

LCD 显示屏显示压力和各种信息

丰富的外控功能，实现远程控制

标准配备 2 个设定点

日本Anelva电离真空计高精度测量可远程控制 M-723HG/M-823HG/M-923HG 特点介绍

型号名称M-723HGM-823HGM-923HG

测量球UGD-1S BA 规球 BRG-1B宽量程BA规球 NIG-2F/NIG-2TF

裸离子规球 

压力测量

范围（Pa）5量程自动切换

10 -2 , 10 -3 , 10 -4 , 10 -5 , 10 -6 7量程自动切换

10 -0 , 10 -1 , 10 -2 , 10 -3 , 10 -4 , 10 -5 , 10 -6 8量程自动切换

10 -2 , 10 -3 , 10 -4 , 10 -5 , 10 -6 , 10 -7 , 10 -8 , 10 -9 

测量范围切换自动切换（可保持量程） 

排气栅极电流加热方式 电子轰击法 

灯丝开关可通过前面板和外部控制输入进行切换（M823HG 除外） 

灯丝保护如果压力、离子电流或发射电流的波动范围出现问题，它将自动关闭。 

模拟输出D/A 输出（尾数 D/A 输出、指数 D/A 输出、复合 D/A 输出）

模拟原始输出（静电计输出） 

输入/输出远程输入 灯丝开/关输入

脱气开/关输入

灯丝抑制输入

量程保持 1 输入

量程保持 2

输入 灯丝开关

输入 仪表 1/2 开关输入（使用仪表选择器选项时） 

 输出 灯丝开/关输出

脱气开/关输出

远程/本地输出

设定点输出（2 点）

仪表 1/2 选择输出（使用仪表选择器选项时）

电源开/关输出

灯丝 1/2 输出

报警输出