日本进口Anelva电容表真空表高精度测量压力

日本进口Anelva电容表真空表高精度测量压力 M-342DG 特点介绍

电容式压力计“M-342DG"在压力传感器部分采用了小型硅MEMS芯片，最大限度地减少了温度、振动和大气压力波动等外部环境的影响，并实现了高精度和稳定的隔膜真空压力测量。

达到调零最小频率的仪表。

高精度、稳定的压力测量

・出色的零点稳定性

・温度依赖性低，无需温度调节机构即可实现出色的稳定性

・出色的抗振性和噪音性

紧凑、低功耗

、重量 200 g、尺寸 W46 mm x H49 mm x L106 mm、轻量且紧凑 (*1)

、功耗 0.5 W

日本进口Anelva电容表真空表高精度测量压力 M-342DG 规格参数

广泛兼容真空压力的高精度、长期稳定测量

半导体、显示器、太阳能电池等各种真空设备、

溅射、PECVD等真空成膜工艺压力控制、监视

/负载锁定室、晶圆冷却等气体导入工艺、系统压力管理。

用于医疗、生物、食品等行业的各种涂层、等离子体处理、真空密封、真空炉、分析设备、灭菌、真空泵评估、分子蒸馏等，以及各种研发应用。

型号名称M-342DG

-1D-1N-11-12-13

满量程压力 (Pa)13.33 133.3 1.333k 13.33k 133.3k 

测量精度（读数的%）0.20(23℃时) 

零点温度系数（% of FS/℃）0.01 0.005 0.002 

量程温度系数（%读数/℃）0.01 0.005 

分辨率（满量程的%）0.01 0.005 

测量下限压力（满量程的%）0.01 

实际测量下限压力（满量程的%）0.05 

实际控制下限压力（满量程的%）0.5 

响应速度（毫秒）100 30 

压力上限200 kPa（但是，对于NW16和NW25，内部压力不得为正）

*13.33 Pa规格为130 kPa 

电源电压（VDC）+13.5～26.4 

功耗（瓦）0.5