日本anelva佳能离子泵/Noble泵控制装置真空 P-500是在10 -2 Pa~10 -4 Pa以下的高真空下操作离子泵或惰性泵的控制装置。显示屏采用大型绿色 LED 来提高远距离可视性
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日本anelva佳能离子泵/Noble泵控制装置真空 P-500 特点介绍
是在10 -2 Pa~10 -4 Pa以下的高真空下操作离子泵或惰性泵的控制装置。显示屏采用大型绿色 LED 来提高远距离可视性
在考虑与以前型号的兼容性的同时,我们实现了改进的功能以及 CE 和 RoHS 合规性。
除了丰富的I/O功能外,还可以通过添加选件板来支持RS232C通信,非常适合自动化设备和远程控制设备。
离子泵和惰性泵有两种类型:超高真空型和高输出型,可操作压力范围和启动压力根据所连接的泵而变化。
日本anelva佳能离子泵/Noble泵控制装置真空 P-500 特点介绍
实现了高压电源所需的高水平基本功能,例如提高了监控高性能电流和电压值时的最小可显示值、增加了压力显示以及各种保护功能兼容硬制程
兼容各种I/O标准设备的外部控制,包括两个标准设定点、
断电自动恢复(可选)
高兼容性
确保远程连接器、输入电缆和输出电缆与之前型号的兼容性
通讯兼容
RS232C(可选(工厂内置兼容))
符合标准
CE 标志,符合 RoHS 指令
电子显微镜、电子束光刻设备
离子束设备、掩模修复设备
存储环、光束线等加速器相关系统
MBE、表面分析设备等超高真空设备、各种分析设备等