日本mirapro真空沉积/蚀刻设备冷阴极测量仪

日本mirapro真空沉积/蚀刻设备冷阴极测量仪 CCTG110S 特点介绍

冷阴极Tough Gauge CCTG（冷阴极Tough Gauge）通过加热阴极电极，防止以前不可能实现的电极污染，并实现超高真空区域的稳定放电。

此外，通过使用陶瓷作为阴极材料，它具有很高的耐腐蚀性。

可以测量以前无法测量的卤素气体气氛的压力。

日本mirapro真空沉积/蚀刻设备冷阴极测量仪 CCTG110S 规格参数

压力单位硬模式除气接口输入信号输出信号压力信号输出输入动作连接凸缘订购型式Pa，托尔mbar测量时对阴极进行通电加热（温度可设定为3级）将阴极进行闪光加热至约700°CRS232C、USB显示器（TGD100）、PC连接可开始/停止测量、除气、硬模式ON/OFF设定点触点×2ch、报警接点0-10V 2chAC85～240V 50/60HzNW25、ICF70NW25钕磁铁:CCTG110S-NW25ICF70萨马科瓦磁铁:CCTG110S-CF70偏置电压3kV～500V最佳控制密封部材质巴顿密封（NW25）金属O形圈密封（ICF70）

污染源是从测量对象物发出的物质以及从用于控制和测量的传感器和配线发出的气体，并且由于这种污染而附着在真空计上，导致精度下降。

在塑料表面进行气相沉积时，由于增塑剂的蒸发等，会发生污染。真空设备内部的配线、电机、密封材料等产生有机污染气体而造成的污染。在半导体制造设备中，有机金属原料气体和抗蚀剂残留，成为污染源。

这些污染物会导致严重的问题。

由栅极污染引起的问题包括由于发射功率增加而导致的灵敏度降低、发射停止和灯丝断裂。

另外，由于收集器的污染而导致真空计的灵敏度降低，