日本mirapro复合真空计Tough发射器型LED屏 TG301CD真空计可以通过放置在被测物体内部进行精确测量,但根据污染源的不同,测量精度可能会下降,从而导致测量结果出现误差。影响正确的判断和控制。
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日本mirapro复合真空计Tough发射器型LED屏 TG301CD 特点介绍
真空计可以通过放置在被测物体内部进行精确测量,但根据污染源的不同,测量精度可能会下降,从而导致测量结果出现误差。影响正确的判断和控制。
污染源是从测量对象物发出的物质以及从用于控制和测量的传感器和配线发出的气体,并且由于这种污染而附着在真空计上,导致精度下降。
在塑料表面进行气相沉积时,由于增塑剂的蒸发等,会发生污染。真空设备内部的配线、电机、密封材料等产生有机污染气体而造成的污染。在半导体制造设备中,有机金属原料气体和抗蚀剂残留,成为污染源。
这些污染物会导致严重的问题。
由栅极污染引起的问题包括由于发射功率增加而导致的灵敏度降低、发射停止和灯丝断裂。
日本mirapro复合真空计Tough发射器型LED屏 TG301CD 规格参数
复合真空计硬度计是组合BA电离真空计和皮拉尼真空计的复合型真空计。通过1根自动切换从大气到超高真空的宽范围的同时进行测量。皮拉尼真空计内置温度计,进行温度修正,减少因温度变化引起的误差。此外,皮拉尼真空计使用耐腐蚀性材料,在高真空下,BA电离真空计在加热栅格及集电极的同时以硬模式工作,因此即使在污染环境下也不易发生灵敏度降低,可长时间高精度地进行测量。