日本okksg半导体电子元件全自动UV紫外黑光

日本okksg半导体电子元件全自动UV紫外黑光 FBUV-系列 特点介绍

黑光规格的全自动UV照射机是自动取出卡匣供给的晶圆框，照射

UV光并进行保管的装置。切割后，紫外线照射会降低胶带的粘合强度，使其更容易拾取。

兼容 8 英寸和 12 英寸晶圆框架，可自动更换设置。

盒式装置可实现全自动照射。

旋转转盘可实现均匀一致的紫外线照射。

多种UV照射条件（时间设定或累积光强度设定）

在触摸屏上实时显示紫外线照度。

由于黑光规格，功耗较低。

兼容8英寸/12英寸磁带。（可以通过触摸面板自动完成设置更改）

日本okksg半导体电子元件全自动UV紫外黑光 FBUV-系列 规格参数

盒式装置可实现全自动照射。

旋转转盘可实现均匀一致的紫外线照射。

多种UV照射条件（时间设定或累积光强度设定）

在触摸屏上实时显示紫外线照度。

由于黑光规格，功耗较低。

兼容8英寸/12英寸磁带。（可以通过触摸面板自动完成设置更改）

尺寸宽770×深1090×高1200（毫米） 

重量约250公斤 

驾驶空气0.4～0.5Mpa 65L/min 

紫外线照度9mW/cm²以上 

氮气0.4～0.5Mpa 100L/min 

电源AC100V 50/60Hz 30A