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日本日酸TANAKA压力计线过滤器高纯度气体用 TANAKA日酸 AT-V14M-50S-0.3MPaC-LTG3S可应对从兆位到千兆位时代的超高纯度气体用外围设备。在干净的环境下,严格的质量管理下进行生产。
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日本日酸TANAKA压力计线过滤器高纯度气体用 TANAKA日酸 AT-V14M-50S-0.3MPaC-LTG3S 特点介绍
可应对从兆位到千兆位时代的超高纯度气体用外围设备。
在干净的环境下,严格的质量管理下进行生产。
包括He检定测试在内的全部实施出货检查。
还可制作电解研磨规格品。(Ra0.25μm)
S-TORR.TORR调节器中也采用的高可靠性压力计。
日本日酸TANAKA压力计线过滤器高纯度气体用 TANAKA日酸 AT-V14M-50S-0.3MPaC-LTG3S 规格参数
低压管路过滤器一(TLF硅片)在元件中加入特氟隆膜
使用时,由于滚筒直径的均匀化,即使是小颗粒,也能高效捕捉。
低压管路过滤器一(TLF硅片)标准对内表面进行研磨处理,其效率更高
可以清洁度供给气体。
高压管路过滤器1(SHF硅片)也可对应内表面研磨。
高压管路过滤器一(SHF硅片也可制作大型特订品。
包括直线测试在内的所有出货检验均已实施。
小型·重量轻,可减小配管间距。
●接气部:布尔登管:株L316SUS合金Mo-Cr-Ni/L316SUS非接气部:外壳:其他304SUSP1070A、304S
●(7505B JIS(级相当于1.6JIS3m、Pa10-11×1.3(UNF规格9/16-18(秒以下/3m、Pa10-9×1.3(规格1/4NPT(秒以下/度C40~-5:外部泄漏量:使用