日本日酸TANAKA液化腐蚀性气体用压力调节器

日本日酸TANAKA液化腐蚀性气体用压力调节器 TANAKA日酸 TORR-2800 特点介绍

●TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。

●组装全部在0.3μm级1000的洁净室进行。

●在一次室的流路内置过滤器，减少了内部泄漏的发生。

●包括泄漏测试在内的全部出货检验。

●TORR-2800系列是用于大流量供给腐蚀性、液化气体的调节器。

日本日酸TANAKA液化腐蚀性气体用压力调节器 TANAKA日酸 TORR-2800 规格参数

●使用材质接触气体部主体:隔膜:压力表:接头:过滤器:其他接触气体部:非接触气体部盖子:调压手柄:SUS3 16LNi-Cr-Mo合金SUS316L/Ni-Cr-Mo合金（SH系列）SUS316L、SUS316、氟树脂/Ni-Cr-Mo合金、SUS316、氟树脂（SH系列）C3604ABS树脂、C360 4

●性能入口侧最高使用压:出口侧最高使用压:最大流量:使用温度:重量:内置过滤器过滤过度:接触气体金属部研磨粗糙度:出入口口径:外部泄漏量:15MPa1.0MPa1，000L/min（或）（P1=4.5MPa、P2=0.4MPa、N2气体）-5～40°C6.7kg20μm/10μm（SH系列）Ra 0.25μm1/2"1.3 10-10Pa m3/sec以下