日本日酸TANAKA高压压力调节器半导体减压阀

日本日酸TANAKA高压压力调节器半导体减压阀 TANAKA日酸 TORR-2300-4W-B515-4VF4VF 特点介绍

●TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。

●组装全部在0.3μm级1000的洁净室进行。

●在一次室的流路内置过滤器，减少了内部泄漏的发生。

●包括泄漏测试在内的全部出货检验。

●还可制作电解研磨规格品。（接触气体金属部表面粗糙度Ra0.25μm）

●TORR-2300系列作为一次高压用中流量机型，用于流量要求比TORR-1300更高的一次减压设备和蒸汽压高的液化气体的一次减压设备。

日本日酸TANAKA高压压力调节器半导体减压阀 TANAKA日酸 TORR-2300-4W-B515-4VF4VF 规格参数

●性能入口侧最高使用压:出口侧最高使用压:最大流量:使用温度:重量:内置过滤器过滤过度:出入口口径:外部泄漏量:20MPa1.0M Pa1，

400L/min（或）（P1=8MPa、P2=1.0MPa、N2气体）-5～40°C1.8kg（4端口）20μm1/4"1.3×10-9Pa m3/sec以下（螺纹连接）1.3x 10-10Pa m3/sec以下（焊接连接）