日本日酸TANAKA低压用大流量压力调节器

日本日酸TANAKA低压用大流量压力调节器 TANAKA日酸 TORR-350 特点介绍

●TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。

●组装全部在0.3μm级1000的洁净室进行。

●包括泄漏测试在内的全部出货检验。

●还可制作电解研磨规格品（。接触气体金属部表面粗糙度Ra0.25微米）

●TORR-350系列作为一次低压用大流量机种，可用于液化气的大流量供给设备和大口径配管等。

●由于没有内置过滤器，请在配管上施工过滤器。

日本日酸TANAKA低压用大流量压力调节器 TANAKA日酸 TORR-350 规格参数

●使用材质接触气体部主体:隔膜:压力表:接头:其他接触气体部:非接触气体部盖子:调压手柄:SUS316L氯罗聚丙烯橡胶（气体接触面特氟龙罩）SUS316LSUS316L、SUS316、氟树脂C3604

●性能入口侧最高使用压:出口侧最高使用压:最大流量:使用温度:重量:出入口口径:外部泄漏量:1.5MPa0.6 MPa230m3/h（或）（P1=1.5MPa、P2=0.6MPa、N2气体）-5～40°C10kg1/2"1.3×10-6Pa m3/sec以下（螺纹连接）1.3x 10-7Pa m3/sec以下（焊接连接）