日本日酸TANAKA低压用压力调节器减压阀

日本日酸TANAKA低压用压力调节器减压阀 TANAKA日酸 TORR-30 特点介绍

●TORR系列是凭借长期的业绩获得高度信赖的“半导体气体用压力调整器的代名词"的压力调整器。

●组装全部在0.3μm级1000的洁净室进行。

●在一次室的流路内置过滤器，减少了内部泄漏的发生。

●包括泄漏测试在内的全部出货检验。

●还可制作电解研磨规格品。（接触气体金属部表面粗糙度Ra0.25μm）

●TORR-30系列作为一次低压用的标准机型，可广泛应用于阀箱、通往室内的配管的卸下等减压后的设备。

日本日酸TANAKA低压用压力调节器减压阀 TANAKA日酸 TORR-30 规格参数

●使用材质接触气体部主体:隔膜:过滤器:压力表:接头:其他接触气体部:非接触气体部盖:调压手柄:SUS316LSU S316SUS316LSUS316（螺纹连接）SUS316L（焊接连接）SUS318L、SUS316、氟树脂C3771ABS树脂、C3604

●性能入口侧最高使用压:出口侧最高使用压:最大流量:使用温度:重量:内置过滤器过滤过度:出入口口径:外部泄漏量:5MPa1.0MPa300L/min（或P1=1.0MPa、P2=0.6MPa、N2气体）-5～40°C1.1kg20μm1/4"1.3×10-9Pa m3/sec以下（螺纹连接）1.3x 10-10Pa m3/sec以下（焊接连接）