日本日酸TANAKA压力调节器液化气体用减压阀

日本日酸TANAKA压力调节器液化气体用减压阀 TANAKA日酸 S-TORRⅤ1900 特点介绍

●S-TORR调节器是在半导体工艺气体生产线中备受信赖的TORR调节器基础上开发的超高纯度气体用压力调节器。

●通过排除气体接触部的螺纹结构，标准实施电解研磨，实现了水分置换特性、颗粒减少。

●主体与接头的连接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金属密封结构。由于具有较高的外部密封性，即使在纯度较高的气体上也能放心使用。

●包括泄漏测试在内的全部出货检验。

●STV1900系列是专用的压力调节器，专为最难以产生的最佳中间压力而设计，以防止内部泄漏。

日本日酸TANAKA压力调节器液化气体用减压阀 TANAKA日酸 S-TORRⅤ1900 规格参数

接触气体部主体:隔膜:过滤器:压力表:接头:其他接触气体部:非接触气体部盖:调压手柄:SUS316LSU S316LSUS316L4LSUS316L、SUS316、氟树脂C3604ABS树脂、C3604

入口侧最高使用压:出口侧最高使用压:最大流量:使用温度:重量:内置过滤器过滤过度:接触气体金属部表面粗糙度:出入口口径:外部泄漏量:15MPa0.6MPa30L/min（无）（P1=10MPa、P2=0.6MPa、N2GAS）-5～40°C1.2kg（2端口）、1.6kg（3端口）20μmRa0.25μm（可选:Ra0.1μm）1/4"1.3x 10-11Pa m3/sec以下